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PZT铁电场效应晶体管电学性能
采用磁控溅射法制备了(111)向择优的Pb(Zr0.52Tio48)O3(PZT)铁电薄膜,并结合半导体集成技术制备了金属/铁电/金属/多晶硅/绝缘层/Si衬底(MFMIS)结......
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